大部分零件,可以使用气体去油法去油后立刻进行渗氮热处理。部分零件也需要用汽油清洗比较好,但在渗氮热处理前最后加工方法若采用抛光、研磨、磨光等,即可能产生阻碍渗氮的表面层,致使渗氮后,氮化层不均匀或发生弯曲等缺陷。此时宜采用下列二种方法之一去除表面层。其中一种方法是在渗氮热处理前首先以气体去油。然后使用氧化铝粉将表面作喷砂处理。
离子氮化处理的度可从350℃开始,由于考虑到材质及其相关机械性质的选用处理时间可由数分钟以致于长时间的处理,本法与过去利用热分解方化学反应而氮化的处理法不同,本法系利用高离子能之故,过去认为难处理的不锈钢、钛、钴等材料也能简单的施以良好的表面硬化处理。