离子渗氮炉操作要求--青岛丰东热工技术有限公司

零件进行离子渗氮时，有许多需要注意的事项，忽视它们往往会给操作造成困难，使之无法进行下去，或者渗氮质量达不到要求，下面是小编整理的离子渗氮炉的操作规范。 

一、准备 

1、炉体内外及电柜保持清洁。

2、检查炉体及电器柜的保护接地是否良好。 

3、检查各种仪器仪表是否处于正常工作状态。 

4、检查供气系统、供水系统是否畅通、有无阻塞现象。 

5、确保真空密封圈完好、干净，真空泵的真空油量符合油标高度。

6、认真清理工件上的毛刺、锈迹、油漆等污物，并用汽油或洗涤剂仔细清洗，特别是小孔、不通孔和沟槽等处。

7、装炉时，应戴上干净手套，按工艺规定方式及数量装炉，并有利于工件温度均匀。

8、同一炉应尽可能装同一种工件，必要时工件的有效厚度和渗层深度也应尽可能相同。 

9、根据需要布置辅助阳极或辅助气源。长度L与内径D之比L/D>6的深孔工件，或内孔壁渗氮层要求均匀的工件，内孔可设辅助阳极；L/D >16的工件，内孔需设辅助气源。

10、封炉前，将密封圈处仔细擦干净，落下炉罩或炉盖时要平稳，不得使工件与炉体相碰。

二、操作要点 

1、抽真空。接通总电源，关闭蝶阀，起动真空泵，缓慢打开蝶阀，以避免发生喷油现象，抽真空至极限真空度。

2、向炉内通少量氨气或氨分解气，冲洗炉体几分钟。在真空度为67Pa左右时，可对炉内输入400~500V高压电流电，使工件起辉，对工件打散弧以活化工件表面。 

3、在30~ 60min内使辉光稳定，逐步减少限流电阻或降低灭弧灵敏度。

4、按工艺调整真空度、电压、电流、气体流量等参数。真空度应通过调整流量计和蝶阀来进行，使抽气速率平稳。 

5、升温过程中要注意经常观察炉内工作情况，如出现打弧或局部温度过高等现象时，要及时调整各项参数，降低电压，以降低升温速度，或暂停供气。

6、升温至200℃后通冷却水，炉体温度应控制在40~60℃。

7、在保温阶段，所需的电流密度小于升温时所需的电流密度，真空度为267~800Pa，辉光层厚度一般为1.5~3mm。保温期间应稳定气体流量和抽气率，以稳定炉内气压，也应随时观察炉内工作状况，发现情况及时处理。 

8、保温结束后即可降温。先停止供气，关闭气源、电磁阀；然后停止供电：调低电压，切断高压电源，将有关旋钮、开关及手柄复位。

9、将炉内抽至极限真空度，关闭蝶阀，停止真空泵。 

10、根据工艺需要、工件复杂程度及变形要求等实际情况，控制冷却速度。方法是：若要降低冷却速度，可以停止向炉内供气，停止抽气，以小电流维持弱辉光，待工件温度降至300℃以下时再加快冷却速度。若要加快冷却速度，可以关掉高压，继续送气、抽气，加大冷却水量。

11、工件温度降至200℃以下时，停止冷却水。工件温度降至150℃以下时，即可打开放气阀向炉内充气，充气结束后再起吊出炉。