真空（脉冲）渗氮工艺及其工艺特点如何

真空脉冲离子氮化是一项新技术，较传统的离子氮化具有很多优点，首先是脉冲离子氮化具有物理参数单独控制、工艺参数独立调节且变动范围大的特性；由于脉冲电源对弧光放电的抑制作用，因此对于很多零件无需堵孔、可获得高质量的表面、绝无灼伤；能提高层深、节能、能提高设备的利用率；可在深孔、窄缝、微孔内实现离子氮化。

真空脉冲离子氮化工艺过程就是向真空炉中通入氨气，即工件装入真空炉后开始启动机械泵抽气，当真空度达到设定值 ( 多为 1. 33Pa) 时，通电升温，同时继续抽真空，保持炉内的真空度，炉温达到要求的渗氮温度后，保温一定时间，然后停止抽真空，向炉内通人干燥的氨气，使炉压升高至 50 ～ 70Pa ，保持一定时间，再抽真空并保持一定时间，再通入氨气，如此反复进行多次，直到渗层达到要求为止。在整个氮化过程中炉温保持不变。

真空脉冲离子氮化后工件表面硬度较高，渗氮速度较普通气体渗氮快很多，如 38CrMoAl 钢，经 550 ℃× 10h 真空脉冲渗氮较普通气体渗氮 540 ℃× 33h 具有相近的氮化层深度。

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